BM0292 Mikrotehnoloģijas iekārtas

Kods BM0292
Nosaukums Mikrotehnoloģijas iekārtas
Statuss Obligātais/Ierobežotās izvēles
Līmenis un tips Pamatstudiju, Profesionālais
Tematiskā joma Medicīnas inženierija
Struktūrvienība Būvniecības un mašīnzinību fakultāte
Mācībspēks Aldis Balodis
Kredītpunkti 3.0
Daļas 1
Anotācija Mikrotehnoloģijas iekārtu īpatnības. Vakuumsistēmas.Transporta sistēmas. . Iztvaicēšanas un izputināšanas sistēmas. Spectehnoloģiskās iekārtas mikrotehnoloģijas procesu nodrošināšanai - kristālu audzēšana un to apstrāde, litogŗāfijas procesa iekārtas..
Studiju kursa saturs
Saturs Pilna un nepilna laika klātienes studijas Nepilna laika neklātienes studijas
Kontaktstundas Patstāvīgais darbs Kontaktstundas Patstāvīgais darbs
Mikrotehnloģijas un nanotehnoloģijas jēdziens. Integrālo mikroshēmu izgatavošanas pamatprocesi. 2 2 0 0
Monolītās, savietotās, hibrīdās shēmas. Bāzes tehnoloģiskais process. n-p-n planārais tranzistors 2 2 0 0
Kristālu audzēšanas metodes un iekārtas. Čohraļska metode. Kristālu mehāniskā apstrāde. Tīrās telpas 2 2 0 0
Epitaksijas metode un iekārtas monokristālisko kārtiņu audzēšanai. 2 2 0 0
Difūzijas procesi un iekārtas. Difūzijas defekti un to noteikšana, metodes un iekārtas 2 2 0 0
Jonu implantācijas režīmi un jona iespiešanās amorfā vielā un kristāliskā vielā. Jonu implantācijas procesa raksturojums 4 4 0 0
Šķidruma kodināšnas procesi un iekārtas. Anizotropija. Plazmas kodināšana. Virsmas attīrīšanas iekārtas 4 4 0 0
Pārklājumu iegūšana. .Pārklājumu klasifikācija.Iztvaicētāji, prasības tiem. 2 2 0 0
Rezistīvie iztvaicētāji. Induktīvie iztvaicētāji. Iztvaicēšans ātrums. Vienmērīgu slāņu iegūšanas paņēmieni. 2 2 0 0
Elektronu staru iztvaicētāji.. Jonu plazmas izputinātāji. Plazma. Voltampēra raksturlīkne. Izputināšanas koeficients. 4 4 0 0
Litogrāfijas procesi un iekārtas. Optiskās litogrāfijas iekārtas, elektronu litogrāfija. 4 4 0 0
Vakuuma raksturojums. Vakuuma pakāpes. Vakuumiekārtas Vakuuma iegūšanas tehnika-. sūkņi 4 4 0 0
Vakuuma mērīšanas tehnika. Vakuumsistēmu uzbūves īpatnības. Laboratorijas darbs augsta vakuuma iegūšana un mērīšana. 4 4 0 0
Mikroshēmu salikšanas tehnoloģijas un hermetizācija. Plāksnīšu sadalīšana un pārbaudes. Kristālu montāža 2 2 0 0
Kopā: 40 40 0 0
Mērķis un uzdevumi, izteikti
kompetencēs un prasmēs 		Studiju priekšmeta mēŗķis ir dot iespēju apgūt mikrotehnoloģijas iekārtu darbības pamatprincipus un tehnoloģisko procesu nodrošināšanas tehniskās metodes. Uzdevumi: apgūt iekārtu sastāvdaļas un vadības metodes mikrotehnoloģijas tehnoloģisko procesu ralizācijai; apgūt kristālu audzēšanas un apstrādes, piemaisījumu ievadīšanas (difūzijas, jonu implantācijas) un plāno kārtiņu iekārtu darbības nodrošināšanas metodes un režīmu ietekmi uz iztrādājumu parametriem.
Sasniedzamie studiju
rezultāti un to vērtēšana 		Spēj formulēt svarīgākos terminus un definīcijas par mikrotehnoloģijas iekārtām - Pārbaudes veids: mājas darbs- referāts, eksāmens
Spēj izskaidrot mirotehnoloģijas iekārtu tehnoloģiskos pielietojumus un to tehnoloģiskos ierobežojumus un iespējas - Pārbaudes veidi: mājas darbi - esejas par katru tehnoloģisko iekārtu veidu. Kritēriji: spēj atpazīt, izskaidrot, aprakstīt iekārtu īpāšības, sastāvdaļas un tehnoloģiskās iespējas, eksāmens
Spēj raksturot vakuuma pakāpes un to pielietošanas mērķi un spēj izvēlēties tehniskos līdzekļus vakuuma pakāpju sasniegšanai un mērīšanai - Laboratorijas darbs, eksāmens
Priekšzināšanas fizika, matemātika, siltummācība;
Studiju kursa plānojums
Daļa KP Stundas Pārbaudījumi
Lekcijas Prakt. d. Lab. Ieskaite Eksāmens Darbs
1 3.0 40.0 0.0 0.0 *
Pieteikties uz šo kursu
[Kursa apraksts PDF formātā]