MMK706 Nanotehnoloģiju iekārtas

Kods MMK706
Nosaukums Nanotehnoloģiju iekārtas
Statuss Obligātais/Ierobežotās izvēles
Līmenis un tips Augstākā līmeņa, Profesionālais
Tematiskā joma Medicīnas inženierija
Struktūrvienība Būvniecības un mašīnzinību fakultāte
Mācībspēks Aldis Balodis
Kredītpunkti 5.0 (7.5 ECTS)
Daļas 1
Anotācija Mikro- un nanotehnoloģiju pamatprocesi un to attīstība..
Tehnoloģiskās vides nodrošināšanas iekārtas – tīrās telpas, vides. Gāzu sistēmas..
Kristālu audzēšanas un apstrādes iekārtas. Litogrāfijas procesa, škidruma un plazmas kodināšanas iekārtas. Slāņu un kārtiņu veidošanas iekārtas – epitaksijai, difūzijai, jonu implantācijai, oksidēšanai, metalizācijai. Vakuuma fizika, iegūšanas, mērīšanas tehnika un aprēķinu pamati. Salikšanas iekārtas..
Studiju kursa saturs
Saturs Pilna un nepilna laika klātienes studijas Nepilna laika neklātienes studijas
Kontaktstundas Patstāvīgais darbs Kontaktstundas Patstāvīgais darbs
Mikro- un nanotehnoloģijas jēdziens. 6 0 0 0
Integrālo mikroshēmu izgatavošanas klasifikācija, tendences. Monolītās, savietotās, hibrīdās shēmas. 6 0 0 0
Kristālu audzēšanas metodes un iekārtas. Čohraļska metode. Kristālu mehāniskā apstrāde. Tīro telpu iekārtošana un uzbūve 8 0 0 0
Epitaksijas metodes un iekārtas monokristālisko kārtiņu audzēšanai. Difūzijas procesi un iekārtas. Difūzijas defekti. 8 0 0 0
Šķidruma kodināšnas procesi un iekārtas. Anizotropija. Plazma. Voltampēra raksturlīkne. Izputināšanas koeficients. 10 0 0 0
Jonu implantācijas režīmi un jonu iespiešanās amorfā vielā un kristāliskā vielā. Procesa raksturojumi. 10 0 0 0
Pārklājumu iegūšana. Pārklājumu klasifikācija. Iztvaicētāji, prasības tiem. Rezistīvie un induktīvie iztvaicētāji. 8 0 0 0
Litogrāfijas procesi un iekārtas. Šabloni, zīmējumu iegūšana Optiskās litogrāfijas iekārtas, elektronu litogrāfija. 8 0 0 0
Vakuuma raksturojums. Vakuuma pakāpes. Vakuumiekārtas Vakuuma iegūšanas tehnika- sūkņi. Vakuuma mērīšanas tehnika. 8 0 0 0
Mikroshēmu salikšanas tehnoloģijas un hermetizācija. Plāksnīšu sadalīšana un pārbaudes. Kristālu montāža. Korpusu tipi. 8 0 0 0
Kopā: 80 0 0 0
Mērķis un uzdevumi, izteikti
kompetencēs un prasmēs 		Mērķis: sniegt zināšanas par mikro- un nanotehnoloģiju iekārtām, kas nodrošina pamata tehnoloģiskos procesus – kristālu audzēšanu, to mehānisko un ķīmisko apstrādi, slāņu, kārtiņu un zīmējumu veidošanu, kā arī salikšanas procesus. Uzdevumi: sniegt zināšanas par mikro- un nanotehnoloģiju pamata procesus realizējošajām iekārtām. Apgūt spēju salīdzināt mikro- un nanotehnoloģiju iekārtu vadības sistēmas elementus un novērtēt to ietekmi uz tehnoloģiskajiem procesiem. Apgūt spējas salīdzināt un novērtēt iekārtu uzbūves īpatnības dažādu tehnoloģiju nodrošināšanai.
Sasniedzamie studiju
rezultāti un to vērtēšana 		Students spēj formulēt tehnoloģiju nodrošināšanas iekārtu izvēli; praktiski noformulēt iekārtu sastāvdaļu nepieciešamību mikro- un nanotehnoloģiju izstrādājumu ražošanai - eksāmens, Iegūtas zināšanas un iemaņas tiks vērtētas pēc RTU vērtēšanas 10 baļļu sistēmas.
Students spēj izvēlēties iekārtu vadības elementus un pēc dotā tehnoloģiskā procesa noteikt regulēšanas procesu un algoritmu - kontroldarbs, eksāmens
Students māk izvēlēties dotā tehnoloģiskā procesa ražībai un izstrādājuma parametriem atbilstošu iekārtas tehniskā risinājuma variantu - kontroldarbs, eksāmens
Priekšzināšanas Vispārēja fizikā un ķīmijā, elektrotehnikā un elektronikā, mehānikā
Studiju kursa plānojums
Daļa KP EKPS Stundas Pārbaudījumi
Lekcijas Prakt. d. Lab. Ieskaite Eksāmens Darbs
1 5.0 7.5 3.0 2.0 0.0 *
Pieteikties uz šo kursu
[Kursa apraksts PDF formātā]