MMK702 Mikro- un nanotehnoloģijas

Kods MMK702
Nosaukums Mikro- un nanotehnoloģijas
Statuss Obligātais/Ierobežotās izvēles
Līmenis un tips Augstākā līmeņa, Profesionālais
Tematiskā joma Medicīnas inženierija
Struktūrvienība Būvniecības un mašīnzinību fakultāte
Mācībspēks Jurijs Dehtjars, Emma Šidlovska
Kredītpunkti 6.0 (9.0 ECTS)
Daļas 1
Anotācija Kursā tiek apskatīti mikro un nanotehnoloģijās izmantojamie materiāli, to iegūšana un fizikālās īpašības atkarībā no kristālogrāfiskās uzbūves. Tiek skaidrotas tehnoloģijas mikro un nanoierīču ražošanai: mehāniskā apstrāde, epitaksija, litogrāfija, drukāšana, uzputināšana un citas. .
Studiju kursa saturs
Saturs Pilna un nepilna laika klātienes studijas Nepilna laika neklātienes studijas
Kontaktstundas Patstāvīgais darbs Kontaktstundas Patstāvīgais darbs
Integrālo mikroshēmu materiāli un pusvadītāju monokristāla stieņa audzēšanas metodes. 5 0 0 0
Stieņa tīrīšana, kristalogrāfiskā orientācija, griešanas metodes un planāra epitaksiāla tehnoloģija. 6 0 0 0
Pusvadītāju plāksnes mehāniskā apstrāde, ķīmiskā un elektroķīmiskā apstrāde, epitaksija. 6 0 0 0
Fotolitogrāfija un fotošabloni, difūzija, jonu implantācija, kodināšana. 5 0 0 0
Reļjefa veidošana, metalizācijas sistēmas. 5 0 0 0
Kontroloperācijas, skraibēšana, montēšana un hermetizācija. 5 0 0 0
Spektroskopijas un mikroskopijas metodes. 10 0 0 0
Nanotehnoloģija, terminoloģija. 4 0 0 0
Grafēni, fullerēni, nanocaurules. 6 0 0 0
Nanocarules struktūra, hiralitātes leņkis. 4 0 0 0
Veidošanas metodes, īpašības. 10 0 0 0
Tuneļefekts, kvantu punkts. 4 0 0 0
MEMS tehnoloģijas. 10 0 0 0
Nanostruktūras izmantošana medicīnā un citās nozarēs. 16 0 0 0
Kopā: 96 0 0 0
Mērķis un uzdevumi, izteikti
kompetencēs un prasmēs 		Sniegt zināšanas par mikro un nanoierīču izgatavošanu; par mikroshēmu materiāliem; mikro un nanotehnoloģiju materiāliem; materiālu izgatavošanu; apstrādi; materiālu kvalitātes pārbaudi, pielietojot spektroskopijas un mikroskopijas metodes.
Sasniedzamie studiju
rezultāti un to vērtēšana 		Pārzina pusvaditāju materiālus. - Zināšanas pārbaudes tests.
Pārzina mikroshēmu izgatavošanas tehnoloģijas - Zināšanas pārbaudes tests.
Pārzina spektroskopijas un mikroskopijas metodes - Zināšanas pārbaudes tests.
Pārzina nanodaļiņas veidus un tos ražošanas tehnoloģiju - Zināšanas pārbaudes tests.
Spēj izstrādāt mikroshēmas izgatavošanas tehnoloģijas - Zināšanas pārbaudes tests.
Studiju rezultātu vērtēšanas kritēriji
Testi (praktiskājās nodarbībās) - 50%
Eksāmens - 50%
 
Priekšzināšanas Nepieciešamas priekšzināšanas vispārējā fizikā un ķīmijā, elektrotehnikā un elektronikā, mehānikā.
Studiju kursa plānojums
Daļa KP EKPS Stundas nedēļā Pārbaudījumi
Lekcijas Prakt. d. Lab. Ieskaite Eksāmens Darbs
1 6.0 9.0 5.0 1.0 0.0 *
Pieteikties uz šo kursu
[Kursa apraksts PDF formātā]